扫描电镜用电子代替光进行成像,电子束打在样品表面后激发样品产生二次电子,收集该二次电子信号再经电脑处理便得到图像。图像中亮的区域电子信号较多,而暗的区域电子信号较少。
扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种dao物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。
当一束极细的高能入射电子轰击扫描样品表面时,被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子,以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。
成像原理:
1、光学显微镜
光学显微镜主要由目镜、物镜、载物台和反光镜组成。目镜和物镜都是凸透镜,焦距不同。物镜的凸透镜焦距小于目镜的凸透镜的焦距。物镜相当于投影仪的镜头,物体通过物镜成倒立、放大的实像。目镜相当于普通的放大镜,该实像又通过目镜成正立、放大的虚像。
经显微镜到人眼的物体都成倒立放大的虚像。反光镜用来反射,照亮被观察的物体。反光镜一般有两个反射面:一个是平面镜,在光线较强时使用;一个是凹面镜,在光线较弱时使用,可会聚光线。
2、电子显微镜
电子显微镜是根据电子光学原理,用电子束和电子透镜代替光束和光学透镜,使物质的细微结构在非常高的放大倍数下成像的仪器。
电子显微镜的分辨能力以它所能分辨的相邻两点的小间距来表示。20世纪70年代,透射式电子显微镜的分辨率约为0.3纳米(人眼的分辨本领约为0.1毫米)。
现在电子显微镜大放大倍率超过300万倍,而光学显微镜的大放大倍率约为2000倍,所以通过电子显微镜就能直接观察到某些重金属的原子和晶体中排列整齐的原子点阵。
苏州守真仪器设备有限公司代理的韩国EM科特
CUBE-Ⅱ桌面扫描电镜
EM科特(EmCrafts)Cube系列桌面式扫描电镜,是一款桌面紧凑型扫描电子显微镜。区别与传统扫描电镜的笨重机身,Cube系列占地面积小,便携性能好,可遵照客户服务指南任意移动SEM设备。
EM科特(EmCrafts)Cube系列提供5轴共心样品台(电动或手动)的台式SEM。中心倾斜对于3D重构功能至关重要。
EM科特(EmCrafts)CUBE-Ⅱ产品技术亮点:
l高分辨率,与传统SEM一样优异
l高空间利用率和便携性,易于移动。可安装在任何地方
l无需等待:抽气90秒/排气10秒
l高度可靠的高压组件
l无需对准电子枪
技术指标: